Mikrogreifer

摘要

Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrogreifers, der einen Basiskörper sowie einen mit dem Basiskörper einstückig verbundenen Greifkörper umfasst, der den Basiskörper überragt und an einem freien Endbereich einen Aufnahmeschlitz derart vorsieht, dass zum Greifen und Halten ein Mikrometer- oder Submikrometer-skaliges Objekt in den Aufnahmeschlitz klemmbar ist, sowie ein gattungsgemäßer Mikrogreifer. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass der Basiskörper und der Greifkörper mittels eines Materialabscheideverfahrens unter Ausbildung wenigstens einer gemeinsamen ersten und einer gemeinsamen zweiten Materialschicht hergestellt werden und dass die Materialschichten im Wesentlichen eben ausgebildet und miteinander verbunden werden.