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发明名称 MEGASCHALLREINIGUNGS- UND TROCKNUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60218163(T2) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 DE2002618163T 申请日期 2002.06.12
申请人 AKRION TECHNOLOGIES INC.;INTERUNIVERSITAIR MICROELECTRONICA CENTRUM VZW 发明人 LAUERHAAS, M.;NICOLOSI JR., J.;MERTENS, PAUL;FYEN, WILLIAM
分类号 B08B3/02;H01L21/00;B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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