Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen,申请号DE19961032581-传众专利搜索

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发明名称	Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen
摘要
申请公布号	DE19632581(B4)	申请公布日期	2007.11.22
申请号	DE19961032581	申请日期	1996.08.13
申请人	APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG	发明人	HORNUNG, MARTIN
分类号	C23C14/24;C23C14/56	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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