发明名称 HERSTELLUNG VON ABSTANDSSTÜCKEN ZUR VERHINDERUNG VON TRANSISTORAUSBILDUNGEN AN GRABENISOLATIONSKANTEN
摘要
申请公布号 DE60033548(T2) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 DE20006033548T 申请日期 2000.11.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP. 发明人 VOLLRATH, JOERG
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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