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发明名称 PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG UND -VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE60033312(T2) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 DE20006033312T 申请日期 2000.11.14
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 BAILEY, D.;SCHOEPP, M.;HEMKER, J.;WILCOXSON, H.;KUTHI, ANDRAS
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/507;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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