发明名称 VIBRATIONSKREISEL UND SEIN HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69936590(T2) 申请公布日期 2007.11.22
申请号 DE19996036590T 申请日期 1999.09.13
申请人 QINETIQ LTD. 发明人 MCNIE, MARK EDWARD;NAYAR, VISHAL
分类号 G01C19/16;G01C19/56;H01L29/84 主分类号 G01C19/16
代理机构 代理人
主权项
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