设备机台专用之基础平台

摘要

本创作系有关于一种设备机台专用之基础平台，该基础平台主要系供晶圆厂、面板厂、...等专业大型之生产设备所摆置使用者，其包括有一平台，该平台系由钢材所制成，而平台之内部，亦利用钢材以纵横交错方式形成状似蜂巢状之补强结构，并于该蜂巢状之补强结构之内，装填有一定厚度之消震阻尼，藉由该蜂巢状之补强结构与消震阻尼，俾令设备机台专用之基础平台达到增加刚性、减少震动、减少重量及降低成本之目的者。

主权项

一种设备机台专用之基础平台,该基础平台主要系 供晶圆厂、面板厂之专业大型生产设备所摆置使 用,其特征在于,其包括有一由钢材所制成之平台, 而平台之内部,亦利用钢材以纵横交错方式形成状 似蜂巢状之补强结构,并于该蜂巢状之补强结构内 ,装填有一定厚度之消震阻尼,藉由该蜂巢状之补 强结构与消震阻尼,使设备机台专用之基础平台, 达到增加刚性、减少震动、减少重量及降低成本 之目的者。 图式简单说明: 第一图系本创作结构之立体图; 第二图系第一图之A-A'剖视图;以及 第三图系本创作底部结构之立体图。