发明名称 抑制光学元件表徵影像的不良影响之方法及机制
摘要 本发明关于使用聚焦透镜、投影透镜单元或类似物作为光学元件,在显像表面上形成物件影像的方法。物件影像系形成在显像表面上,同时以垂直光轴的方向,以该等透镜之中心为中心,旋转与透镜之厚度方向垂直的区段。
申请公布号 TWI290268 申请公布日期 2007.11.21
申请号 TW094107856 申请日期 2005.03.15
申请人 ?尾超精密无线电工程股份有限公司 发明人 佐野公彦
分类号 G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种利用一光学元件在显像表面上形成物件影 像之方法,包含: 在旋转该光学元件的光学效应表面以使该光学效 应表面的表面中心成为旋转中心的同时,在该显像 表面上形成该物件影像。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中该光学元件为 镜片及滤光器中至少一者。 3.一种使用一透镜作为光学元件在显像表面上形 成物件影像之方法,包含: 在以与光轴方向垂直之方向旋转一区段以使该区 段的中心成为旋转中心的同时,在该显像表面上形 成该物件影像,该区段系与该透镜之厚度方向相垂 直。 4.如申请专利范围第1至3项中任一项之方法,其中 当该物件影像系利用多数光学元件来形成时,该多 数光学元件中至少一者系以与另一光学元件之旋 转方向相反之方向旋转。 5.如申请专利范围第1至3项中任一项之方法,其中 当该物件影像系利用多数光学元件来形成时,该多 数光学元件中至少一者,系以不同于另一在相同旋 转方向上旋转之光学元件的旋转速度来旋转。 6.一种利用一光学元件在显像表面上形成物件影 像之机构,包含: 用于旋转该光学元件的光学效应表面以使该光学 效应表面的表面中心成为旋转中心之旋转装置。 7.如申请专利范围第6项之机构,其中该光学元件为 镜片及滤光器中至少一者。 8.一种使用一透镜作为光学元件在显像表面上形 成物件影像之机构,包含: 以与光轴方向垂直之方向旋转一区段以使该区段 的中心成为旋转中心之旋转装置,该区段系与该透 镜之厚度方向相垂直。 9.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,当该 物件影像系利用多数光学元件来形成时,该多数光 学元件中每一者皆配备有该旋转装置,以及该机构 进一步包含用于控制每一旋转装置之控制装置,以 将该多数光学元件中至少一者,以与另一光学元件 之旋转方向相反之方向旋转。 10.如申请专利范围第9项之机构,其中该旋转装置 包含: 固定装置,用于固定该光学元件;以及 驱动装置,用于藉由旋转该固定装置来旋转该光学 元件。 11.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,其中 当该物件影像系利用多数光学元件来形成时,该多 数光学元件中每一者皆配备有该旋转装置,以及该 机构进一步包含用于控制每一旋转装置之控制装 置,用于控制每一旋转装置以将该多数光学元件中 至少一者,以不同于另一在相同旋转方向上旋转之 光学元件的旋转速度来旋转。 12.如申请专利范围第11项之机构,其中该旋转装置 包含: 固定装置,用于固定该光学元件;以及 驱动装置,用于藉由旋转该固定装置来旋转该光学 元件。 13.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,其中 该旋转装置包含: 固定装置,用于固定该光学元件;以及 驱动装置,用于藉由旋转该固定装置来旋转该光学 元件。 14.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,其被 包含于一曝光装置中,该曝光装置将形成在该显像 表面上的影像曝光。 15.如申请专利范围第9项之机构,其被包含于一曝 光装置中,该曝光装置将形成在该显像表面上的影 像曝光。 16.如申请专利范围第10项之机构,其被包含于一曝 光装置中,该曝光装置将形成在该显像表面上的影 像曝光。 17.如申请专利范围第11项之机构,其被包含于一曝 光装置中,该曝光装置将形成在该显像表面上的影 像曝光。 18.如申请专利范围第12项之机构,其被包含于一曝 光装置中,该曝光装置将形成在该显像表面上的影 像曝光。 19.如申请专利范围第13项之机构,其被包含于一曝 光装置中,该曝光装置将形成在该显像表面上的影 像曝光。 20.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,其被 包含于一电影放映机中,该电影放映机将形成在该 显像表面上的影像投影。 21.如申请专利范围第9项之机构,其被包含于一电 影放映机中,该电影放映机将形成在该显像表面上 的影像投影。 22.如申请专利范围第10项之机构,其被包含于一电 影放映机中,该电影放映机将形成在该显像表面上 的影像投影。 23.如申请专利范围第11项之机构,其被包含于一电 影放映机中,该电影放映机将形成在该显像表面上 的影像投影。 24.如申请专利范围第12项之机构,其被包含于一电 影放映机中,该电影放映机将形成在该显像表面上 的影像投影。 25.如申请专利范围第13项之机构,其被包含于一电 影放映机中,该电影放映机将形成在该显像表面上 的影像投影。 26.如申请专利范围第6至8项中任一项之机构,其被 包含于一摄影机中,且该摄影机含有具有显像表面 之光接收单元。 27.如申请专利范围第9项之机构,其被包含于一摄 影机中,且该摄影机含有具有显像表面之光接收单 元。 28.如申请专利范围第10项之机构,其被包含于一摄 影机中,且该摄影机含有具有显像表面之光接收单 元。 29.如申请专利范围第11项之机构,其被包含于一摄 影机中,且该摄影机含有具有显像表面之光接收单 元。 30.如申请专利范围第12项之机构,其被包含于一摄 影机中,且该摄影机含有具有显像表面之光接收单 元。 31.如申请专利范围第13项之机构,其被包含于一摄 影机中,且该摄影机含有具有显像表面之光接收单 元。 图式简单说明: 第1图为显示习知投影式曝光装置之一例子的功能 方块图; 第2图为解释旋转聚焦透镜及投影透镜单元之方法 的概要图; 第3图为解释旋转聚焦透镜及投影透镜单元之方法 的概要图; 第4图为显示固定在光罩台上的原始影像以及形成 在显像表面上之原始影像之间的关系之概要图; 第5图显示固定在光罩台上之原始影像之一实施例 ; 第6图显示藉由在显像表面上形成如第5图所示之 原始影像所获得之一影像的实施例; 第7图显示藉由同心地分散表徵的影响所形成之影 像的一实施例; 第8图显示在聚焦透镜旋转时产生改变之影像的一 实施例; 第9图显示在聚焦透镜旋转时产生改变之影像的一 实施例; 第10图显示在聚焦透镜旋转时产生改变之影像的 一实施例; 第11图显示在聚焦透镜旋转时产生改变之影像的 一实施例; 第12图显示在聚焦透镜旋转时产生改变之影像的 一实施例; 第13图为显示采用使用轴承之旋转机构之聚焦透 镜之一实施例的侧视图; 第14图为采用如第13图所示之旋转机构之聚焦透镜 的顶视图; 第15图为显示采用使用轴承之旋转机构之投影透 镜之一实施例的侧视图; 第16图为显示采用使用硬球(hardballs)之旋转机构之 聚焦透镜之一实施例的侧视图; 第17图为显示采用使用硬球(hardballs)之旋转机构之 投影透镜之一实施例的侧视图; 第18图为如第16图及第17图所示之透镜台之主要部 分的详图; 第19图为采用如第16图及第17图所示之旋转机构之 投影透镜单元的顶视图; 第20图为显示采用使用浮动空气之旋转机构之聚 焦透镜之一实施例的侧视图; 第21图为显示采用使用浮动空气之旋转机构之投 影透镜之一实施例的侧视图; 第22图为如第20图及第21图所示之透镜台之主要部 分的详图; 第23图为如第20图及第21图所示之透镜固定环的顶 视图; 第24图为如第20图及第21图所示之透镜台之平面图; 第25图为显示采用根据本发明之一具体实施例之 机构的电影放映机之结构设计的一实施例的图;以 及 第26图为显示采用根据本发明之一具体实施例之 机构的摄影机之结构设计的一实施例的图。
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