发明名称 半导体装置、显示模组及半导体装置之制造方法
摘要 本发明之半导体装置系于以含有机物之绝缘膜所形成之基板具有布线图案,而安装有半导体晶片,以各向异性导电接着剂电性连接液晶显示面板及PW基板。至少于绝缘膜之单边表面以矽耦合剂进行处理。作为矽耦合剂之构成元素之矽(Si)系存在于绝缘膜表面为0.5~12.0 atomic%(表面元素浓度)。
申请公布号 TWI290361 申请公布日期 2007.11.21
申请号 TW095101896 申请日期 2006.01.18
申请人 夏普股份有限公司 发明人 田中康彦;丰泽健司
分类号 H01L23/48(2006.01);G02F1/1333(2006.01) 主分类号 H01L23/48(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;林宗宏 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种半导体装置,其系于以含有机物之绝缘膜形 成之基板包含布线图案,而安装半导体晶片者,其 特征在于: 于上述绝缘膜之至少单边之表面进行矽耦合剂处 理,且作为上述矽耦合剂之构成元素之矽(Si)系存 在于绝缘膜表面为0.5~12.0 atomic%(表面元素浓度)。 2.如请求项1之半导体装置,其中前述绝缘膜系由聚 醯亚胺所组成。 3.如请求项1或2之半导体装置,其中于前述基板可 搭载各种功能之半导体晶片。 4.如请求项3之半导体装置,其中于前述基板可搭载 数个半导体晶片。 5.如请求项1或2之半导体装置,其中形成于前述半 导体晶片之凸块电极系以金(Au)形成,而前述基板 上之布线图案系以锡(Sn)或镀锡(Sn)形成。 6.如请求项1或2之半导体装置,其中形成于前述半 导体晶片之凸块电极系以金(Au)形成,且前述基板 上之布线图案亦以金(Au)或镀金(Au)形成。 7.如请求项1或2之半导体装置,其中在前述基板除 半导体晶片外,尚搭载电阻、电容器、LED等电子零 件。 8.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项1 之半导体装置者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 9.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项2 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 10.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项3 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 11.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项4 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 12.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项5 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 13.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项6 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 14.一种显示模组,其特征在于:其系使用如请求项7 之半导体装置之显示模组者;且 其以各向异性导电接着剂电性连接显示面板与上 述半导体装置。 15.如请求项8之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 16.如请求项9之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 17.如请求项10之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 18.如请求项11之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 19.如请求项12之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 20.如请求项13之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 21.如请求项14之显示模组,其中前述显示面板系液 晶显示面板。 22.一种半导体装置之制造方法,其特征在于包含以 下步骤: 将含有机物之绝缘膜以作为构成元素之矽(Si)存在 于绝缘膜表面为0.5~ 12.0 atomic%(表面元素浓度)之矽 耦合剂进行表面处理之步骤; 于以含有机物之绝缘膜形成之基板形成布线图案, 且安装半导体晶片之步骤。 图式简单说明: 图1(a)系表示本发明中之液晶模组之一实施型态之 剖面图。 图1(b)系表示以使用于安装在上述液晶模组之半导 体装置之基板,以矽耦合剂进行表面处理之绝缘膜 之剖面图。 图2(a)系表示以上述COF形成之半导体装置之平面图 。 图2(b)系表示以上述COF形成之半导体装置之剖面图 。 图3系表示于上述基板搭载数个半导体晶片及电子 零件之半导体装置之剖面图。 图4系表示上述半导体装置之要部之剖面图。 图5系表示已用上述矽耦合剂进行表面处理之绝缘 膜之黏着强度测定方法之剖面图。 图6(a)系表示已用上述矽耦合剂进行表面处理之绝 缘膜之黏着强度测定结果之图表。 图6(b)系表示未用上述矽耦合剂进行表面处理之绝 缘膜之黏着强度测定结果之图表。 图7系表示因应上述矽耦合剂之添加量之黏着强度 测定结果之图表。 图8系表示以往之液晶模组之剖面图。
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