| 发明名称 | 用于通过测量探头测量薄层厚度的方法和设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于通过测量探头(11)测量薄层厚度的方法和设备，测量探头(11)具有保持至少一个其纵向轴线平行于壳体(14)的纵向轴线(16)或位于该纵向轴线上的感测器元件(17)的壳体(14)，其中至少在测量过程中，气态介质在测量表面(28)上供应到测量探头(11)的供应开口(21)，并且经由连接到供应开口(21)上的至少一个连接通道(24)供应到测量探头(11)的设置在端表面(29)上并指向测量表面(28)的一个或多个出口开口(26)，并且气态介质的流出一个或多个出口开口(26)的至少一个质量流指向测量表面(28)，并且在测量过程中测量探头(11)相对于测量表面(28)以非接触方式保持。 | ||
| 申请公布号 | CN101074864A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200710103923.X | 申请日期 | 2007.05.15 |
| 申请人 | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 | 发明人 | H·费希尔 |
| 分类号 | G01B7/06(2006.01) | 主分类号 | G01B7/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温大鹏 |
| 主权项 | 1.一种用于通过测量探头(11)测量薄层厚度的方法，测量探头(11)具有保持至少一个其纵向轴线平行于壳体(14)的纵向轴线(16)或位于该纵向轴线上的感测器元件(17)的壳体(14)，其特征在于，至少在测量过程中，气态介质在测量表面(28)上供应到测量探头(11)的供应开口(21)，并且经由连接到供应开口(21)上的至少一个连接通道(24)供应到测量探头(11)的设置在端表面(29)上并指向测量表面(28)的一个或多个出口开口(26)，并且流出一个或多个出口开口(26)的气态介质的至少一个质量流指向测量表面(28)，并且在测量过程中测量探头(11)相对于测量表面(28)以非接触方式保持。 | ||
| 地址 | 德国辛德尔芬根 | ||