| 发明名称 | 热超声倒装键合机换能器监测和分析系统 | ||
| 摘要 | 热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，本发明在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，计算输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现热超声倒装键合强度的在线监测。换能器系统功率信号容易获得和实现，可定量反映键合强度，实现强度的在线监测，并不影响换能器系统的性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101073851A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200610031670.5 | 申请日期 | 2006.05.18 |
| 申请人 | 中南大学 | 发明人 | 王福亮;韩雷;钟掘;广明安 |
| 分类号 | B23K20/10(2006.01);B29C65/08(2006.01);H01L21/607(2006.01) | 主分类号 | B23K20/10(2006.01) |
| 代理机构 | 中南大学专利中心 | 代理人 | 胡燕瑜 |
| 主权项 | 1.热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，其特征在于：在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，经A/D转换后，得数字化电流、电压信号，计算得到输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现监测和分析。 | ||
| 地址 | 410083湖南省长沙市麓山南路1号 | ||