| 发明名称 | 基板搬送方法和装置 | ||
| 摘要 | 一种基板搬送装置(10)，包括以预定间距设置的多个搬送辊(22A－22D)，该多个搬送辊(22A－22D)响应搬送辊(22)的旋转而搬送基板(40)。每个搬送辊(22)是大体中空圆筒状的部件，在中空圆筒状的部件的圆周上形成有多个狭缝口(24)。在防止灰尘或任何其它异物聚集在基板(40)的底面的同时，交替行的搬送辊(22)被设计成吹气到搬送中的基板(40)的底面和从搬送中的基板(40)的底面吸气。 | ||
| 申请公布号 | CN101074069A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200710104122.5 | 申请日期 | 2007.05.16 |
| 申请人 | NEC液晶技术株式会社 | 发明人 | 长友和也 |
| 分类号 | B65G49/05(2006.01);B65G47/00(2006.01);B65G13/00(2006.01);B65G39/02(2006.01);B08B5/00(2006.01);G02F1/1333(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | B65G49/05(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 张成新 |
| 主权项 | 1.一种基板搬送装置，用于通过旋转多个搬送辊来搬送具有期望宽度和长度的基板，所述多个搬送辊沿基板的纵向以期望的间距设置，其特征在于：所述搬送辊形成有口，在搬送辊旋转的同时该口交替地从相邻的搬送辊吹气到基板底面和从基板底面吸气。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||