发明名称 一种定位装置
摘要 本实用新型涉及一种定位装置,其包括不动工件和运动工件,其中,运动工件一侧设置两个接触块,一个凹槽及一个一端收容在凹槽内的挂钩,并且在不动工件上设有与接触块配合的提升组件及一个与挂钩配合的挂钩定位组件,在不动元件和运动元件接触面之间设有垫片。本实用新型的定位装置均是通过不动工件和运动工件的面接触进行定位,同时兼具提升和定位的功能,无需专门的工装,而且通过垫片进一步调节精度,调节快速,重复定位简单,进而提高了工作效率。
申请公布号 CN200979878Y 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN200620045664.0 申请日期 2006.09.08
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 王春兰;袁志扬
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
主权项 1、一种定位装置,包括不动工件和运动工件,其特征在于:所述运动工件一侧设置至少一个接触块,一个凹槽及一个一端收容在凹槽内的挂钩,并且在不动工件上设有与接触块配合的提升组件及一个与挂钩配合的挂钩定位件。
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