发明名称 热压接工具及热压接装置
摘要 热压接工具(3)具备:主体块(6);以及加热器块(22),其下表面侧设有工具部(29),上表面侧经由调节工具部在长度方向的平坦度的调节机构(21)安装在主体块上;加热器块与主体块相比,由热膨胀系数较低的材料来形成。
申请公布号 CN101076886A 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN200580042463.3 申请日期 2005.09.13
申请人 芝浦机械电子株式会社 发明人 冈泽光弘
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L21/603(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 陈建全
主权项 1、一种热压接工具,其对两个部件的叠合部分加压加热而进行压接,其特征在于,具备:主体块;以及加热器块,其下表面侧设有工具部,上表面侧经由调节所述工具部在长度方向的平坦度的调节机构安装在所述主体块上;所述加热器块与所述主体块相比,由热膨胀系数较低的材料来形成。
地址 日本神奈川县