发明名称 ELECTRODE CONFIGURATION IN A MEMS SWITCH
摘要
申请公布号 EP1529300(B1) 申请公布日期 2007.11.21
申请号 EP20030751854 申请日期 2003.08.13
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 MA, QING
分类号 H01H59/00;B81B3/00 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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