| 发明名称 | 抛光溶液 | ||
| 摘要 | 本发明描述了包含两种不同有机酸的抛光溶液。第一有机酸为多官能氨基酸。第二有机酸选自：简单羧酸、羟基－羧酸、及其组合。简单羧酸可以是单官能或多官能的简单羧酸。本发明还描述了提供增强清除速率的包含两种不同有机酸的抛光溶液。本发明还描述了抛光表面的方法，所述表面包括含铜的金属表面。 | ||
| 申请公布号 | CN101076575A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200580042525.0 | 申请日期 | 2005.10.25 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 杰弗里·S·科洛奇 |
| 分类号 | C09G1/00(2006.01);C09G1/02(2006.01) | 主分类号 | C09G1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;郭国清 |
| 主权项 | 1.一种包括第一有机酸和第二有机酸的抛光溶液；其中：第一有机酸为多官能氨基酸；和第二有机酸选自：简单羧酸、单官能羟基-羧酸、及其组合。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||