| 发明名称 | 耐腐蚀构件 | ||
| 摘要 | 当耐腐蚀构件暴露于含氯气体或其等离子体且随后暴露于环境气氛时，构件表面不吸收湿气。待暴露于含氯气体或其等离子体的构件表面不形成基体材料的氯化物颗粒。在用水冲洗构件后，冲洗水不会显示出对基体的腐蚀性质。构件不存在对基体的损伤而且构件也不会损失耐腐蚀能力。 | ||
| 申请公布号 | CN101075550A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200610064447.0 | 申请日期 | 2006.10.20 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 塜谷敏彦;中野瑞;前田孝雄 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/3213(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/311(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/67(2006.01);C23F4/00(2006.01);C23C16/00(2006.01);H01J37/32(2006.01);H01J37/00(2006.01);H05H1/00(2006.01);B32B9/00(2006.01);B32B33/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李帆 |
| 主权项 | 1、一种具有待暴露于含氯气体或含氯气体的等离子体的表面的耐腐蚀构件，其中当构件表面暴露于含氯气体或含氯气体的等离子体且随后暴露于环境气氛时，构件表面不吸收湿气。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||