发明名称 生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅
摘要 本发明涉及通过使硅与HCl气体在250℃和1100℃之间的温度和0.5-30atm的绝对压力下在流化床反应器、搅拌床反应器或固体床反应器中反应生产三氯硅烷的方法,其中供应到反应器中的硅包含30至10000ppm的铬。本发明还涉及用于通过使硅与HCl气体反应生产三氯硅烷的硅,包含30-10000ppm的铬,除了正常杂质外其余都是硅。
申请公布号 CN100349797C 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN200480019694.8 申请日期 2004.06.24
申请人 埃尔凯姆有限公司 发明人 J·-O·赫尔;H·M·荣;T·罗埃;H·A·奥耶
分类号 C01B33/107(2006.01) 主分类号 C01B33/107(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 范赤;段晓玲
主权项 1.通过使硅与HCl气体在250℃和1100℃之间的温度和0.5-30atm的绝对压力下在流化床反应器、搅拌床反应器或固体床反应器中反应生产三氯硅烷的方法,特征在于供应到反应器中的硅包含30至10000ppm的铬。
地址 挪威奥斯陆