| 发明名称 | 一种键合参数加载方法 | ||
| 摘要 | 一种键合参数加载方法，本发明通过监测换能器驱动电流和电压信号，获得换能器的功率信号，再根据统计的功率信号曲线，确定改变键合参数的临界点T<SUB>critical</SUB>，在临界点T<SUB>critical</SUB>以前的键合I阶段输入小超声功率、大键合压力；在临界点T<SUB>critical</SUB>以后的键合II阶段输入大超声功率、小键合压力。这种通过改变键合参数加载过程，提高了键合强度和可靠性，使得能量的输入符合键合界面的实际消耗规律。 | ||
| 申请公布号 | CN101075569A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200610031671.X | 申请日期 | 2006.05.18 |
| 申请人 | 中南大学 | 发明人 | 王福亮;韩雷;钟掘;广明安 |
| 分类号 | H01L21/607(2006.01);H01L21/60(2006.01);B23K20/10(2006.01) | 主分类号 | H01L21/607(2006.01) |
| 代理机构 | 中南大学专利中心 | 代理人 | 胡燕瑜 |
| 主权项 | 1.一种键合参数加载方法，包括超声功率和键合压力，其特征在于：通过监测换能器驱动电流和电压信号，获得换能器的功率信号，再根据统计的功率信号曲线，确定改变键合参数的临界点Tcritical，在临界点Tcritical以前的键合I阶段输入小超声功率、大键合压力；在临界点Tcritical以后的键合II阶段输入大超声功率、小键合压力。 | ||
| 地址 | 410083湖南省长沙市麓山南路1号 | ||