一种超薄3自由度微动工作台

摘要

一种超薄3自由度微动工作台，属于超精密微动工作台领域。本发明由微动台基座，微动台动子以及微动台定子组成，含有3组电磁力驱动单元。3组驱动单元的线圈嵌入单一的线圈骨架中，组成微动台定子；微动台动子包含两部分，分别为动子下滑盖和动子上滑盖，两者固定联接，并通过气浮或磁浮轴承悬浮在微动台基座之上。本发明整体结构简单、紧凑，微动台动子惯量小，重心低，具备实现高速、高加速的可能。该微动工作台采用电磁力直接驱动，致使微动台在运动方向不存在机械摩擦，无阻尼，具有较高的位移分辨率。本发明基于洛伦兹原理工作，输出推力与输入电流之间成线性关系，运动控制技术成熟。

主权项

1.一种超薄3自由度微动工作台，该工作台由微动台基座(1)，微动台动子(2)以及微动台定子(3)组成，其特征在于：所述微动工作台具有3组电磁力驱动单元，驱动单元分别嵌入在微动台动子和微动台定子中，所述的微动台动子包括动子下滑盖(2a)和动子上滑盖(2b)，动子下滑盖嵌有所述3组驱动单元的下永磁体组件，每个下永磁体组件由两片磁极方向相反布置的永磁体和设置在永磁体下面的铁轭组成，动子上滑盖嵌有所述3组驱动单元的上永磁体组件，每个上永磁体组件由两片磁极方向相反布置的永磁体和设置在永磁体上面的铁轭组成；所述的微动台定子包括线圈骨架和3组驱动单元的线圈，所述3组驱动单元的线圈嵌入单层的线圈骨架中；微动台动子通过气浮或磁浮轴承悬浮在微动台基座之上，与微动台定子保持间隙；微动台定子与微动台基座固定联接。