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发明名称
摘要
申请公布号
JP4010332(B2)
申请公布日期
2007.11.21
申请号
JP20060150181
申请日期
2006.05.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;G09G3/20;G09G3/36;H01L21/82;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
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