薄化晶圆之方法

摘要

一种薄化晶圆之方法。首先，提供一晶圆。接着利用一黏着层将该晶圆之一正面接合于一承载晶圆上，该黏着层包含有一热释放胶带或一紫外线胶带。随后进行一薄化制程，由该晶圆之一背面薄化该晶圆。