探针夹持机构

摘要

本发明的探针夹持机构，系包括：一探针定位构件，提供一定位手段，以容纳一探针，并予定位；一振动驱动构件，用以提供一可控制振动源；及一弹性夹持构件，提供一弹力，以夹持固定该探针定位构件及该振动构件。本发明之实例中，该探针定位构件可包括一定位晶片，一置针槽、一聚焦光程修正片或一光学玻璃片。