化学机械研磨之研磨修整装置

摘要

本案系揭露提供一种应用于化学机械研磨之研磨修整装置，包含一固定环(Retaining Ring)，用以嵌固一晶圆，以于一抛光垫上进行化学机械研磨；以及复数个修整器(Dresser)，环设于该固定环底面，用以进行该晶圆抛光时，同时修整该抛光垫，以维持该抛光垫良好的抛光效率。