| 摘要 |
本发明提供一种防护薄膜框架，系在贴附到光罩之后，可容易地进行剥离；进一步提供一种装置，可将光罩所贴附之防护薄膜组件加以无损伤地剥离。本发明之防护薄膜组件的特征为：系至少一边之边长在300mm以上的防护薄膜组件，且于贴附在光罩2之状态中，在防护薄膜框架1之外侧全周80％以上的区域，光罩2及防护薄膜框架1二者间设有宽2mm以上、高0.5mm以上的间隙。又，本发明之防护薄膜组件剥离装置的特征为：包含：剥离具7，下部具有平板状部15；及升降机构12，将该剥离具7保持与光罩2平行之状态下，而往上方升高。并且，藉由把剥离具7之平板状部15加以插进防护薄膜框架1及光罩2两者的间隙，以将光罩2及防护薄膜组件二者分开。 |
