一反应性气体例如矽烷是否含会产生粒子之杂质的分析方法

摘要

本发明揭示了一种改进的供给处理装置气体的方法，所述气体包含至少一种能起反应和/或成核形成悬浮于气体中的污染性粒子的杂质。该改进包括用粒子计数器和/或粒子俘获过滤器采样处理装置上游的气流，以检测该气流中污染性粒子的量，和当粒子的量超过预定量时产生信号。实施该方法的装置包括：供应源；至少一种处理工具；放置在处理工具上游和供应源下游的粒子计数器；与至少所述粒子计数器电连接的微处理器；和任选地，与粒子计数器并联的粒子俘获过滤器。所述方法和装置可用于制备积体电路。