适用于化学机械研磨之浆料及方法

摘要

一种化学机械研磨之浆料，其包含一种分散于去离子水中之研磨材料，以及一种有机之黏稠修饰剂，所添加之黏稠修饰剂系用于调整浆料之黏稠度于0.5~3.2cps的范围内。