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Herramienta de operación adaptada para emitir una pluralidad de átomos de gas inerte de alta energía neutros en una corriente, comprendiendo el aparato: una fuente de gas inerte; una célula de plasma (23) en comunicación con dicha fuente de gas inerte para impartir energía a dichos átomos de gas inerte para crear átomos de gas inerte energizados, definida dicha célula de plasma en parte por un electrodo positivo (201) y un electrodo negativo (22); por lo menos una fuente de voltaje (41, 42) conectada eléctricamente a dichos electrodos positivo y negativo (22, 201), estando adaptada dicha por lo menos una fuente de voltaje (41, 42) para proporcionar (a) inicialmente un voltaje de ionización entre dichos electrodos positivo y negativo para iniciar un plasma a partir de dicho gas inerte en dicha célula de plasma (23), y (b) posteriormente una curva de voltaje pulsado que mantiene el plasma en un nivel de energía predeterminado; y unos medios para dirigir los átomos de gas inerte neutros energizados a un objetivo.
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