METHOD AND APPARATUS FOR SCANNING A SURFACE POINT ON A WORKPIECE

摘要

Bei einem Verfahren zum Antasten eines Oberflächenpunktes an einem Werkstück wird ein Tastkopf mit einer Tastkopfbasis und mit einem Taststift bereitgestellt, der relativ zu der Tastkopfbasis beweglich ist. Der Taststift besitzt eine definierte Ruhelage relativ zu der Tastkopfbasis. Zum Antasten wird der Tastkopf relativ zu dem Werkstück verfahren, bis der Taststift den Oberflächenpunkt mit einer definierten Antastkraft berührt. Gemäß der Erfindung wird ein Korrekturdatensatz bereitgestellt, der ein Hystereseverhalten des Taststiftes in Bezug auf die Ruhelage repräsentiert, und die Antastkraft wird unter Verwendung des Korrekturdatensatzes bestimmt.