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经营范围
发明名称
LIQUID PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100776626(B1)
申请公布日期
2007.11.15
申请号
KR20010055520
申请日期
2001.09.10
申请人
发明人
分类号
B05C9/00;G03F7/30;B05C5/00;B05C11/08;B05D1/40;B05D7/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
B05C9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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