发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOCHREINEM RUTHENIUM-SPUTTER-TARGET
摘要
申请公布号 DE69937224(D1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE19996037224 申请日期 1999.07.14
申请人 NIPPON MINING & METALS CO. LTD. 发明人 SHINDO, YUICHIRO;SUZUKI, TSUNEO
分类号 C01G55/00;C23C14/34;B22F1/00;B22F3/00;B22F3/14;B22F9/22;C22B11/00;C22B61/00;C22C1/04;C22C5/04;H01L21/285 主分类号 C01G55/00
代理机构 代理人
主权项
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