发明名称 Method and System for Perpendicular Magnetic Media Metrology
摘要 A metrology system for measuring the magnetic properties of a magnetic recording medium layer on a device used for perpendicular recording.
申请公布号 US2007262771(A1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 US20070692762 申请日期 2007.03.28
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 VAN DRENT WILLIAM;VAJDA FERENC
分类号 G01R33/12;G11B5/52 主分类号 G01R33/12
代理机构 代理人
主权项
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