发明名称 |
Method and System for Perpendicular Magnetic Media Metrology |
摘要 |
A metrology system for measuring the magnetic properties of a magnetic recording medium layer on a device used for perpendicular recording.
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申请公布号 |
US2007262771(A1) |
申请公布日期 |
2007.11.15 |
申请号 |
US20070692762 |
申请日期 |
2007.03.28 |
申请人 |
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION |
发明人 |
VAN DRENT WILLIAM;VAJDA FERENC |
分类号 |
G01R33/12;G11B5/52 |
主分类号 |
G01R33/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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