DEVICE FOR COMBINED INTERFEROMETRY AND IMAGE-BASED DETERMINATION OF GEOMETRY, ESPECIALLY FOR USE IN MICROSYSTEMS TECHNOLOGY, AND METHOD FOR THE USE THEREOF

摘要

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist ein Objektiv (8) auf, das in zumindest zwei verschiedenen Messmodi arbeiten kann. In einem ersten Interferenzmodus wird ein Messobjekt (9) interferenzoptisch vermessen. In einem zweiten abbildenden Betriebsmodus wird z.B. auf einem nach Art einer Kamera ausgebildeten Detektorarray (12) ein optisches Bild erzeugt, das einer Bildverarbeitungsroutine zugeführt werden kann. Die Umschaltung zwischen beiden Messmodi erfolgt durch Umschaltung der Beleuchtungseinrichtungen, die an unterschiedliche Stellen des Strahlengangs der Vorrichtung angeschlossen sind - aus Sicht der Kamera eine vor dem Strahlteiler und die andere hinter dem Strahlteiler, der den Referenzlichtweg an den Strahlengang ankoppelt.