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发明名称 Apparat zur Erzeugung eines gespülten optischen Weges in einer photolithographischen Projektionsanlage sowie ein entsprechendes Verfahren
摘要
申请公布号 DE60130754(D1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE20016030754 申请日期 2001.05.02
申请人 ASML HOLDING, N.V. 发明人 HANSELL, ERIC C.;HERRERA, JOSE V.;HUSE, RICHARD L.;IVALDI, JORGE S.;KREHLEY, STEPHEN G.;SHAMALY, THOMAS P.
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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