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发明名称 METHOD FOR PREVENTING STICTION IN MICROSYSTEM
摘要
申请公布号 KR100776129(B1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 KR20050134142 申请日期 2005.12.29
申请人 发明人
分类号 B81C1/00;B81B1/00;B81B7/00;C08J7/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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