NIEDRIG TEMPERATUR CVD-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON WISMUTH ENTHALTENDEN DÜNNEN KERAMIK-SCHICHTEN ZUR VERWENDUNG IN FERROELEKTRISCHEN SPEICHERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号
DE69838502(D1)
申请公布日期
2007.11.15
申请号
DE19986038502
申请日期
1998.06.26
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS INC.
发明人
HINTERMAIER, FRANK S.;DEHM, CHRISTINE;HOENLEIN, WOLFGANG;VAN BUSKIRK, PETER C.;ROEDER, JEFFREY F.;HENDRIX, BRYAN C.;BAUM, THOMAS H.;DESROCHERS, DEBRA A.
