发明名称 |
Dépôt d'un faisceau d'ions comme moyen pour réaliser des circuits électriques et des éléments de circuits électriques |
摘要 |
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申请公布号 |
FR1339581(A) |
申请公布日期 |
1963.10.11 |
申请号 |
FR19620904388 |
申请日期 |
1962.07.18 |
申请人 |
MCDONNELL AIRCRAFT CORPORATION |
发明人 |
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分类号 |
C23C8/36;C23C14/22;H01B1/00;H01B3/10;H01C17/12;H01J37/317;H01L21/00;H01L49/02 |
主分类号 |
C23C8/36 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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