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发明名称 Verfahren zur Bildung dünner Schichten
摘要
申请公布号 DE60125649(T2) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE2001625649T 申请日期 2001.07.10
申请人 CANON K.K. 发明人 YAJIMA, TAKAHIRO;KANAI, MASAHIRO;SUGIYAMA, SHUICHIRO
分类号 C23C16/24;C23C16/509;H01L21/205;H01L31/028;H01L31/04;H01L31/20 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
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