VERFAHEREN UND VORRICHTUNG ZUM DOTIEREN, DIFFUSION UND OXIDIEREN VON SILISIUMSCHEIBEN UNTER VERMINDERTEM DRUCK,申请号DE20020730404T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHEREN UND VORRICHTUNG ZUM DOTIEREN, DIFFUSION UND OXIDIEREN VON SILISIUMSCHEIBEN UNTER VERMINDERTEM DRUCK
摘要
申请公布号	DE02730404(T1)	申请公布日期	2007.11.15
申请号	DE20020730404T	申请日期	2002.05.14
申请人	SEMCO ENGINEERING S.A.	发明人	PELLEGRIN, YVON
分类号	H01L21/22;C30B31/00;C30B31/06;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/00;H01L21/31	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
地址