ROHRKATHODE FÜR DIE VERWENDUNG BEI EINEM SPUTTERPROZESS,申请号AT20050016738T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ROHRKATHODE FÜR DIE VERWENDUNG BEI EINEM SPUTTERPROZESS
摘要
申请公布号	AT377098(T)	申请公布日期	2007.11.15
申请号	AT20050016738T	申请日期	2005.08.02
申请人	APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG	发明人	SCHUHMACHER,MANFRED;JOOS,GERHARD
分类号	C23C14/34;H01J37/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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