LINEARE ANTRIEBSVORRICHTUNG ZUR ANWENDUNG IN EINER PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG,申请号DE20016027232T-传众专利搜索

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发明名称	LINEARE ANTRIEBSVORRICHTUNG ZUR ANWENDUNG IN EINER PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号	DE60127232(T2)	申请公布日期	2007.11.15
申请号	DE20016027232T	申请日期	2001.01.02
申请人	LAM RESEARCH CORP.	发明人	HAO, FANGLI;DAWSON, KEITH
分类号	H01J37/32;H05H1/46;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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