| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ELEKTROMECHANISCHEN UND/ODER ELEKTROCHEMISCH-MECHANISCHEN ENTFERNEN VON LEITENDEM MATERIAL VON EINEM MIKROELEKTRONISCHEN SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT376477(T) |
申请公布日期 |
2007.11.15 |
| 申请号 |
AT20030791962T |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
MICRON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
LEE, WHONCHEE;MEIKLE, SCOTT;MOORE, SCOTT |
| 分类号 |
B23H5/08;B24B1/00;B24B7/19;B24B37/04;B24B51/00;C25F3/02;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/304;H01L21/3063;H01L21/3205 |
主分类号 |
B23H5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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