| 发明名称 | 一种气动控制装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种气动控制装置和方法，该气动控制装置包括真空气囊、流量控制器、传输气路、单向节流阀、吸盘、传感器、模/数及数/模转换电路和控制器，真空气囊通过流量控制器连接到一真空泵，吸盘通过传输气路连接到真空气囊，传输气路和吸盘间接有单向节流阀，用于吸盘开合时传输气路上的气压控制，真空气囊和传输气路上均连接有传感器，传感器的输出通过模/数转换作为控制器的输入，控制器的输出指令通过数/模转换控制流量控制器。本发明还提供了一种气动控制方法。采用本发明的装置不仅能实现压力(负压)、流量的控制，而且气路设计能保证多个吸盘开合时的相互独立性，另外也避免了真空开启吸盘时导致的真空泄漏。 | ||
| 申请公布号 | CN101071310A | 申请公布日期 | 2007.11.14 |
| 申请号 | CN200710041768.3 | 申请日期 | 2007.06.08 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 胡海峰;李若庆;王文刚 |
| 分类号 | G05D16/02(2006.01);G05D16/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G05D16/02(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1、一种气动控制装置，其特征在于：所述的气动控制装置包括真空气囊、流量控制器、传输气路、单向节流阀、吸盘、传感器、模/数及数/模转换电路和控制器，真空气囊通过流量控制器连接到一真空泵，吸盘通过传输气路连接到真空气囊，传输气路和吸盘间接有单向节流阀，用于吸盘开合时传输气路上的气压控制，真空气囊和传输气路上均连接有传感器，传感器的输出通过模/数转换作为控制器的输入，控制器的输出指令通过数/模转换控制流量控制器。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||