| 发明名称 | 面板清洗设备和清洗方法 | ||
| 摘要 | 在使用环形带在平台上传送面板、从清洗喷嘴喷射清洗液、并通过清洗头从面板的表面清洗并移除异物的面板清洗装置中，为了清洗并移除聚积在环形带的内表面上的、已经从面板的内表面移除的一部分异物，在面板的传送方向上的平台的后端部上设置清洗喷嘴和水排放通路。因此，可清洗并移除聚积在传送面板的环形带上的异物，并将其排放到清洗设备的外部。 | ||
| 申请公布号 | CN101071761A | 申请公布日期 | 2007.11.14 |
| 申请号 | CN200710100994.4 | 申请日期 | 2007.05.08 |
| 申请人 | NEC液晶技术株式会社 | 发明人 | 吉田仁 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);B08B3/02(2006.01);G02F1/133(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 关兆辉;孙志湧 |
| 主权项 | 1.一种面板清洗设备，包括：用于传送面板的环形带；用于从所述环形带的内侧下面支撑所述传送面板的平台；用于从上面清洗所述面板的清洗装置；和用于清洗所述环形带的内表面的清洗喷嘴。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||