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发明名称 PRODUCTION METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL AND PRODUCTION DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL INGOT, AND HEAT TREATING METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号 EP1158076(B1) 申请公布日期 2007.11.14
申请号 EP19990972700 申请日期 1999.11.19
申请人 KOMATSU DENSHI KINZOKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKAMURA, KOZO;SAISHOJI, TOSHIAKI;NAKAJIMA, HIROTAKA;SADOHARA, SHINYA;NISHIMURA, MASASHI;KOTOOKA, TOSHIROU;SHIMANUKI, YOSHIYUKI
分类号 C30B29/06;C30B15/00;C30B15/14;C30B33/02 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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