一种吸气剂型的氩气净化器

摘要

本发明公开了属于气体净化领域的一种吸气剂型的氩气净化器，此净化器包括两个装吸气剂的圆筒形金属壳、金属壳体内装吸气材料颗粒、每个吸气剂圆形腔体顶端与预抽真空的空间相连处装两个金属过滤网，防止在振动冲击条件下净化材料颗粒物的脱落并过滤氩气中的微小颗粒物。有通气和出气的管道、净化器与气瓶和真空机组相连的阀门。本发明采用两级净化方式净化惰性气体氩气，其净化效果好，使氩气中的活性杂质气体从几个～十几个ppm减少到ppb量级。该净化器使用Zr－V－Fe合金颗粒和改性5A分子筛混合作为净化材料，采用400～500℃保温40分钟的工艺对净化材料颗粒进行激活处理。在室温工作，减少能耗；不需要水冷，使用方便安全。

主权项

1.一种吸气剂型的氩气净化器，其特征在于，该净化器采用两级吸气剂型的净化装置，其组成是：弯成L型外筒(11)的短段伸入第一级净化装置(10)上端的过滤网(7)的上面，L型外筒(11)的长段伸入第二级净化装置(8)内，穿过上、下过滤网及过滤网间净化材料(9)，至下端的过滤网(7)和底端部之间，将两级净化装置连接起来；在第一级净化装置(10)上端伸入外筒(11)，穿过上、下过滤网及过滤网间纯化材料(9)，至下端的过滤网(7)和底端部之间，外接第一控制阀(13)和压力表(14)，至欲净化的氩气入口；在第二级净化装置(8)上端的过滤网(7)上面，穿出弯管连接第二控制阀(6)至净化后高纯氩气出口；在L型外筒(11)的平底上连接第三控制阀(5)，第三控制阀(5)后面连接由热偶计(3)、离子计(4)、分子泵(2)和机械泵(1)组成的真空系统。