基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片

摘要

一种微电子技术领域的基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析高效检测芯片，其中，玻璃层与聚二甲基硅氧烷层通过键合密封在一起，在聚二甲基硅氧烷层上设有试剂样品输入口、试剂样品输出口，玻璃层上设有各个通道起点、通道终点，试剂样品输入口、试剂样品输出口分别与各个通道起点、通道终点相对应，陶瓷压电阀进样控制器在聚二甲基硅氧烷层的外侧，芯片固紧夹具系统将陶瓷压电阀进样控制器紧密贴合在键合后聚二甲基硅氧烷层一侧，芯片固紧夹具系统同时将芯片固定在底座上，超声生物试剂混合系统嵌入粘贴在聚二甲基硅氧烷层，其下方为玻璃层，玻璃层外侧为集成温控反应系统。本发明不仅大大减小了器件体积，降低了成本，也使其批量化加工成为可能。

主权项

1、一种基于聚二甲基硅氧烷的微型生物试剂分析检测芯片，包括：聚二甲基硅氧烷层(2)、玻璃层(3)，其特征在于，还包括：集成双路光导检测系统(1)，超声生物试剂混合系统(4)，芯片固紧夹具系统(5)，集成温控反应系统(6)，陶瓷压电阀进样控制器(7)；玻璃层(3)与聚二甲基硅氧烷层(2)键合密封在一起，集成双路光导检测系统(1)是由聚二甲基硅氧烷包皮(23)和SU8芯子(24)组成的光导通路，集成双路光导检测系统(1)在聚二甲基硅氧烷层(2)与玻璃层(3)之间，在聚二甲基硅氧烷层(2)上设有试剂样品输入口(8)、试剂样品输出口(9)，玻璃层(3)上设有各个通道起点(10)、通道终点(11)，试剂样品输入口(8)、试剂样品输出口(9)分别与各个通道起点(10)、通道终点(11)相对应，陶瓷压电阀进样控制器(7)在聚二甲基硅氧烷层(2)的外侧，芯片固紧夹具系统(5)将陶瓷压电阀进样控制器(7)紧密贴合在键合后聚二甲基硅氧烷层(2)一侧，芯片固紧夹具系统(5)同时将芯片固定在底座上，超声生物试剂混合系统(4)为嵌入粘贴在聚二甲基硅氧烷层(2)上的陶瓷压电片(26)，其下方为玻璃层(3)，集成温控反应系统(6)在玻璃层(3)外一侧，集成温控反应系统(6)由微铂膜传感器(21)和微铂膜加热器(22)组成，铂膜传感器(21)和铂膜加热器(22)平行逶迤在玻璃层(3)外侧。