六硼化铕纳米线、纳米管及其制备方法

摘要

本发明公开了六硼化铕纳米线、纳米管及其制备方法。该方法是先将放有铕源的单晶硅片衬底放入管式电炉的石英管中部，密封石英管，同时对石英管预抽真空，然后通入保护和还原气体，再将电炉加热到930-1110℃，然后通入硼源，同时调节保护和还原性气体，保持15-60分钟；在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温，直至冷却至室温；硼源为BCl₃；还原性气体为H₂气，保护气体为Ar气。本发明首次制备出六硼化铕纳米线和纳米管，试验过程简单，易于操作，便于工业化生产。制备的纳米线可作为冷阴极电子源，应用于场致电子发射平板显示器，冷阴极发光管，冷阴极光源等。

主权项

1、一种六硼化铕的纳米线和纳米管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤和工艺条件：(1)将放有0.1-0.5g铕源的单晶硅片衬底放入管式电炉的石英管中部，密封石英管，同时对石英管预抽真空，然后通入保护和还原气体，其流速为10-100sccm；(2)将步骤(1)的管式电炉加热到930-1110℃，然后通入硼源，其流速为10-100 sccm；同时调节保护和还原性气体流速为20-200sccm；保持15-60分钟；(3)在保护气体和还原性气体的混合气气氛下降温，直至冷却至室温；(4)取出单晶硅片衬底，在蒸馏水中浸泡，再烘干，得衬底上物质即为六硼化铕的纳米线、纳米管；所述硼源为BCl3；所述步骤(1)、(2)和(3)中的还原性气体为H2气，保护气体为Ar气，还原性气体与保护气体体积比为0.1-10∶1。