探测单元及具有该探测单元的探测装置

摘要

一种探测单元，其包括：沿第一方向设置的第一探针；沿第一方向设置在该第一探针上方并介于该第一探针之间的第二探针；用于支撑该第一探针的两端的第一支撑构件；设置在该第一支撑构件上以支撑该第二探针的两端的第二支撑构件；用于支撑该第一探针和该第二探针的框架；用于将该第一支撑构件和该第二支撑构件固定到该框架上、从而使该第一支撑构件和该第二支撑构件沿与第一方向大致垂直的第二方向设置的第一固定构件；以及用于将该第一支撑构件和该第二支撑构件固定到该框架上、从而使该第一支撑构件和该第二支撑构件沿与第一方向和第二方向大致垂直的第三方向设置的第二固定构件。

主权项

1.一种探测单元，包括：第一探针，其沿第一方向设置；第二探针，其沿所述第一方向设置在所述第一探针上方并介于所述第一探针之间；第一支撑构件，其用于支撑每个所述第一探针的两端；第二支撑构件，其设置在所述第一支撑构件上以支撑每个所述第二探针的两端；框架，其用于支撑所述第一支撑构件和所述第二支撑构件；第一固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向相对的第二方向设置；以及第二固定构件，其用于将所述第一支撑构件和所述第二支撑构件固定到所述框架、从而使所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着与所述第一方向和所述第二方向相对的第三方向设置。