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发明名称
MULTILAYER FILM
摘要
<p>This disclosure describes system(s) and/or method(s) enabling contacts for individual nanometer-scale-thickness layers of a multilayer film.</p>
申请公布号
EP1854137(A1)
申请公布日期
2007.11.14
申请号
EP20060735682
申请日期
2006.02.22
申请人
HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.
发明人
KORNILOVICH, PAVEL;MARDILOVICH, PETER;RAMAMOORTHI, SRIRAM
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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