发明名称 MULTILAYER FILM
摘要 <p>This disclosure describes system(s) and/or method(s) enabling contacts for individual nanometer-scale-thickness layers of a multilayer film.</p>
申请公布号 EP1854137(A1) 申请公布日期 2007.11.14
申请号 EP20060735682 申请日期 2006.02.22
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. 发明人 KORNILOVICH, PAVEL;MARDILOVICH, PETER;RAMAMOORTHI, SRIRAM
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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